機器消耗品市場

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商品NO	1012	商品名	UHV小型チャンバーⅢ	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	UHV小型チャンバーⅢ	価格		商品問合せ
特徴	•成膜室チャンバーとして利用されます • 多機能な用途に使用されます					カタログ
仕様	材質：SUS304 表面処理：バフ研磨+電解研磨リーク量：1.33x10-11Pa以下フランジ数：ICF203×2　ICF152×2 ICF114×1　ICF70×6 カスタマイズ可
備考				管理NO

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